Электронная библиотека Веда
Цели библиотеки
Скачать бесплатно
Доставка литературы
Доставка диссертаций
Размещение литературы
Контактные данные
Я ищу:
Библиотечный каталог российских и украинских диссертаций

Вы находитесь:
Диссертационные работы России
Технические науки
Технология приборостроения

Диссертационная работа:

Аверин Игорь Александрович. Управляемый синтез гетерогенных систем: технология и свойства : диссертация ... доктора технических наук : 05.11.14, 01.04.10 / Пенз. гос. ун-т.- Пенза, 2007.- 381 с.: ил. РГБ ОД, 71 07-5/551

смотреть содержание
смотреть введение
Содержание к работе:

Введение 8

1 Методология технологии управляемого синтеза гетерогенных систем 21

1.1 Многокомпонентные системы и их свойства 21

1.2 Основные методы получения многокомпонентных систем и приборов на их основе 35

1.3 Влияние облучения на свойства многокомпонентных систем 44

1.4 Концепция создания гетерогенных систем с управляемыми свойствами 48

Выводы 53

2 Основы технологии управляемого синтеза многокомпонентных полупроводниковых материалов на основе соединений ААВ6 54

2.1 Использование метода «горячей стенки» для получения эпитаксиальных пленок сульфида, селенида свинца и твердых растворов на их основе в квазиравновесных условиях 54

2.2 Выбор условий получения эпитаксиальных пленок сульфида свинца и PbS Se высокого структурного совершенства на основе кинетических исследований 58

2.2.1 Кинетическая диаграмма условий конденсации пленок сульфида свинца и твердых растворов PbS Se на диэлектрических подложках из фтористого бария 58

2.2.2 Влияния условий получения на скорость конденсации и структурное совершенство эпитаксиальных пленок сульфида свинца и твердых растворов сульфид-селенид свинца 62

2.3 Зависимость электрофизических свойств многокомпонентных материалов на основе эпитаксиальных пленок сульфида свинца от условий получения 68

2.3.1 Зависимость концентрации носителей заряда и коэффициента термоЭДС от давления пара серы 68

2.3.2 Влияние температуры подложки на значения коэффициента термоЭДС и тип электропроводности многокомпонентных полупроводниковых материалов 72

2.4 Зависимость состава и электрофизических свойств многокомпонентных систем на основе эпитаксиальных пленок твердых растворов сульфид-селенид свинца от условий

получения 73

2.5 Физико-химические закономерности получения многокомпонентных полупроводниковых материалов на основе эпитаксиальных пленок сульфида свинца и твердых растворов

сульфид-селенид свинца с контролируемыми свойствами 82

2.5.1 Расчет термодинамических параметров реакций образования собственных дефектов в многокомпонентных материалах на основе эпитаксиальных пленок PbS и твердых растворов PbS Se 82

2.5.2 Расчет концентраций собственных дефектов, носителей заряда и инверсных давлений пара халькогена квазихимическим методом 90

2.5.3 Термодинамический расчет условий протекания реакций замещения атомов серы атомами селена 94

2.5.4 Кинетические расчеты процессов самодиффузии в полупроводниковых материалах на основе ААВв 99

Выводы 107

3 Управляемый синтез многокомпонентных проводниковых материалов... 109

3.1 Получения пленок многокомпонентных проводниковых материалов методом термического испарения в вакууме 109

3.2 Процессы формирования пленок проводниковых многокомпонентных материалов 111

3.3 Влияние условий конденсации пленок многокомпонентных материалов, полученных методом термического испарения в вакууме, на их состав , 145

3.4 Исследование скорости конденсации пленок многокомпонентных материалов 158

3.5 Исследование адгезии пленок к поверхности ситалловой подложки 165

3.6 Моделирование процесса формирования плёнок многокомпонентных проводниковых материалов 172

Выводы 178

4 Управление свойствами многокомпонентных материалов на основе сегнетоэлектрических твердых растворов цирконата-титаната свинца ; 181

4.1 Влияние состава твердых растворов цирконата-титаната свинца на их электропроводность 181

4.2 Влияние однократного рентгеновского излучения на электропроводность сегнетоэлектрических твердых растворов на основе цирконата-титаната свинца 186

4.3 Моделирование электропроводности твердых растворов цирконата-титаната свинца 193

4.4 Влияние многократного рентгеновского излучения на электропроводность твердых растворов цирконата-титаната свинца 198

4.5 Влияние рентгеновского излучения на диэлектрические свойства твердых растворов цирконата-титаната свинца 201

Выводы 203

5 Получение пленочных резисторов на основе многокомпонентных проводниковых материалов с управляемыми и стабильными во времени параметрами 205

5.1 Исследование параметров пленочных резисторов на основе хромоникелевых сплавов в процессе хранения 205

5.2 Влияние защитного слоя на параметры пленочных резисторов с использованием хромоникелевых сплавов в процессе хранения 218

5.3 Управление параметрами пленочных резисторов посредством отжига 224

5.4 Управление параметрами пленочных резисторов за счет облучения рентгеновскими лучами 234

Выводы ; 247

6 Получение и выходные параметры фотоэлектрических преобразователей на основе сульфида свинца и твердых растворов сульфид-селенид свинца 249

6.1 Выбор материалов омического и выпрямляющего контактов 249

6.2 Получение фотоэлектрических преобразователей на основе эпитаксиальных пленок сульфида свинца и твердых растворов сульфид-селенид свинца 250

6.3 Расчёт зонной диаграммы барьеров Шоттки на основе In-/?-PbS ; 258

6.4 Исследование вольт-амперных характеристик фотоэлектрических преобразователей на основе р-п гомопереходов и барьеров Шоттки 260

6.4.1. Исследование вольт-амперных характеристик фотоэлектрических преобразователей на основе р-п -гомопереходов 260

6.4.2 Исследование вольт-амперных характеристик фотоэлектрических преобразователей на основе барьеров Шоттки 271

6.5 Исследование вольт-фарадных характеристик фотоэлектрических преобразователей на основе р-п -гомопереходов и барьеров Шоттки 284

6.5.1 Исследование вольт-фарадных характеристик фотоэлектрических преобразователей на основе р-п -гомопереходов 284

6.5.2 Исследование вольт-фарадных характеристик фотоэлектрических преобразователей на основе барьеров Шоттки 286

6.6 Исследование фотоэлектрических характеристик р-п-гомопереходов и барьеров Шоттки 287

6.6.1 Исследование фотоэлектрических характеристик р-п -гомопереходов 287

6.6.2 Исследование фотоэлектрических характеристик барьеров Шоттки 290

6.7 Влияние условий получения на выходные параметры фотоэлектрических преобразователей 292

Выводы 294

7 Методики исследования свойств многокомпонентных материалов и параметров гетерогенных систем 296

7.1 Методика проведения рентгеновского фазового анализа 296

7.2 Методика исследования качественного и количественного состава многокомпонентных систем 297

7.3 Методика измерения коэффициента термоЭДС полупроводниковых многокомпонентных материалов 301

7.4 Методика исследования эффекта Холла полупроводниковых многокомпонентных материалов 302

7.5 Методика исследования электропроводности диэлектрических многокомпонентных материалов 304

7.6 Методика исследования вольт-амперных характеристик гетерогенных систем \ 306

7.7 Методика исследования вольт-фарадных характеристик гетерогенных систем 307

7.8 Методика исследование фотоэлектрических характеристик гетерогенных систем 307

7.9 Аппаратное обеспечение автоматизированных исследований свойств многокомпонентных материалов и параметров гетерогенных систем на их основе 309

7.9.1 Автоматизированный лабораторный стенд для исследования проводящих свойств многокомпонентных систем 311

7.9.2 Автоматизированный лабораторный стенд для исследования свойств многокомпонентных полупроводниковых материалов методом эффекта Холла 313

7.9.3 Автоматизированный лабораторный стенд для исследования вольт-амперных характеристик гетерогенных систем 314

7.9.4 Автоматизированный лабораторный стенд для исследования параметров гетерогенных систем методом вольт-фарадных характеристик , 316

Выводы 317

Основные результаты работы 319

Список литературы 323

Приложение А Акты об использовании результатов диссертационной работы в производстве и научно-исследовательских работах 361

Приложение Б Акты об использовании результатов

диссертационной работы в учебном процессе и научных исследованиях...362

Приложение В Блок-схема программы моделирования

процесса формирования пленок на основе многокомпонентных

систем и её основные фрагменты 363

Приложение Г Блок-схемы программы моделирования электропроводности многокомпонентных диэлектрических материалов 378 

Введение к работе:

Фундаментальная задача технологии приборостроения заключается в получении материалов и приборов функциональной электроники на их основе с заданными и стабильными во времени параметрами.

Актуальность диссертации обусловлена разработкой технологии управляемого синтеза многокомпонентных систем с использованием различных материалов микро-, наноэлектроники на основе физико-химических и технологических закономерностей цепочки: режимы синтеза - состав -внешние факторы - электрофизические свойства материалов и выходные параметры приборов на их основе.

Интенсивное развитие микро-, нанотехнологии предъявляет новые требования к расширению функциональных возможностей приборов и повышению их надежности. Реализовать это возможно при использовании многокомпонентных систем, синтезированных при различной степени неравновесности метода получения, с заранее заданными свойствами за счет выбора технологических режимов синтеза и дозированного действия внешних факторов. Многокомпонентные системы, как правило, являются соединениями переменного состава, поэтому их применение, с одной стороны, обеспечивает требуемые эксплуатационные характеристики, а с другой стороны, затрудняет создание приборов с управляемыми и стабильными параметрами. Это характерно для многокомпонентных материалов, принадлежащих к различным классам веществ. В соединениях переменного состава небольшие девиации состава фазы вызывают изменения электрофизических свойств материалов и соответственно параметров приборов на их основе. Исследованием взаимосвязи между составом и свойствами монокристаллов, выращенных в равновесных условиях, занималась голландская школа во главе с Ф. Крёгером [1]. Однако современная электроника базируется на использовании не только объемных материалах, но и пленок, конденсация ко торых происходит в неравновесных условиях. При этом эффекты и явления, характерные для пленок, не проявляются в объемных материалах и наоборот.

Перспективными материалами для создания приборов функциональной электроники являются многокомпонентные системы, путем изменения состава которых удается управлять электрофизическими свойствами материалов, а следовательно, параметрами приборов на их основе. В данной работе к ним относятся следующие материалы: проводниковые (Ni Cr, ,

Х20Н75Ю); полупроводниковые (PbS, PbSe, PbSj Se ) и диэлектрические (PbTiх_ лхОъ) бинарные соединения и твердые растворы.

Основы технологии контролируемого и управляемого синтеза многокомпонентных систем базируются на квазихимическом подходе. В литературе не описано применение термодинамики фаз переменного состава к квазиравновесным и неравновесным условиям получения материалов. Однако это существенно для микро-, наноэлектронной технологии, так как обоснование, подтверждение возможности и применение термодинамики фаз переменного состава к квазиравновесным условиям позволяет установить физико-химические закономерности получения многокомпонентных гетерогенных систем с управляемыми свойствами.

Проблемам разработки технологии управляемого синтеза многокомпонентных систем уделяется большое внимание во всем мире. Существенный вклад в развитие теоретических основ технологии управляемого синтеза многокомпонентных гетерогенных систем внесли научные школы, руководимые такими учеными, как С.А. Семилетов, Л.С. Палатник, Б.Ф. Ормонт, В.К. Сорокин, В.В. Крапухин, И.А. Соколов, Г.Д. Кузнецов, Ю.М.Таиров, А.С. Сигов, В.И. Волчихин, P.M. Печерская, В.В.Смогунов, А.С. Сидоркин, В.В. Леманов, В.Б. Уфимцев, А.А. Лобанов, А.Е. Панич, В.А. Исупов, К.А. Воротилов и другие. Важной задачей приборостроения является повышение выхода годных изделий и временной стабильности эксплуатационных характеристик приборов, решение которой достигается за счет отработки технологии материалов с управляемыми, воспроизводимыми и стабильными во времени свойствами, К настоящему времени кинетические и термодинамические закономерности получения материалов не систематизированы. В то же время технология управляемого и воспроизводимого синтеза многокомпбнентных систем требует как глубоких кинетических исследований, так и разработки качественных и количественных моделей свойств материалов, конденсируемых при различных термодинамических условиях. Научное направление формулируется в данной работе как развитие технологических основ получения гетерогенных систем с заданными выходными параметрами на основе общих физико-химических закономерностей синтеза различных многокомпонентных систем с управляемыми и стабильными .во времени свойствами.

Таким образом, работа является актуальной как с точки зрения теоретического подхода для описания многовариантных равновесий при синтезе многокомпонентных систем и действии на них внешних дестабилизирующих факторов, так и с точки зрения практического использования этих результатов для создания технологии приборов с заданными выходными параметрами.

Тематика работы соответствует «Перечню приоритетных направлений развития науки, технологий и техники РФ», утвержденному Президентом РФ (Индустрия наносистем и материалов) и «Перечню приоритетных направлений фундаментальных исследований», утвержденному президиумом РАН (Физика конденсированных состояний и вещества).

Целью диссертационной работы является развитие основ технологии создания многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых, диэлектрических систем, фотоэлектрических преобразователей на базе соединений ААВв и пленочных хромоникелевых резисторов для чувствительных элементов преобразователей физических величин с. высокостабильными параметрами, позволяющих повысить эффективность технологии приборостроения и имеющих важное хозяйственное значение.

Для достижения заданной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Сформулировать методологию технологии управляемого синтеза многокомпонентных материалов на базе анализа свойств материалов и выходных параметров гетерогенных систем.

2. Разработать и практически реализовать методы получения многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических систем с управляемыми свойствами на основе применения термодинамики фаз переменного состава к квазиравновесным условиям их получения.

3. Установить общие для многокомпонентных систем закономерности: условия конденсации - состав - свойства, для чего:

- исследовать кинетику процессов испарения и конденсации многокомпонентных систем;

- исследовать действие внешних дестабилизирующих факторов на свойства многокомпонентных систем;

- смоделировать процессы формирования пленок и свойства многокомпонентных систем в зависимости от условий конденсации и действия внешних дестабилизирующих факторов.

4. Разработать и практически реализовать методы временной стабилизации выходных параметров пленочных хромоникелевых резисторов для чувствительных элементов преобразователей физических величин.

5. Установить физико-химические закономерности управляемого синтеза многокомпонентных систем при различных условиях конденсации и внешних дестабилизирующих факторах; разработать технологию и изготовить фотоэлектрические преобразователи с использованием соединений А В и пленочные хромоникелевые резисторы для чувствительных элементов преобразователей физических величин.

Методы исследования. Сформулированные задачи решались с использованием современных экспериментальных неавтоматизированных и автоматизированных методов, реализованных на отечественном и зарубежном оборудовании; численных и аналитических методов и средств вычислительной техники, а также теоретических методов исследования.

Достоверность полученных результатов и выводов подтверждена теоретическими доказательствами, численным и аналитическим моделированием свойств материалов и параметров гетерогенных систем; комплексными экспериментальными исследованиями, выполненными в объеме и с точностью, достаточными для получения достоверных сведений; многовариантной постановкой экспериментов с изменением условий конденсации, режимов обработки, характера воздействия; совпадением рассчитанных значений в пределах разработанных моделей с экспериментальными данными и известными из литературных источников.

Научная новизна результатов, полученных в диссертационной работе, заключается в следующем.

1. На основании анализа свойств и методов получения материалов, относящихся к различным классам веществ, предложена методология технологии управляемого синтеза многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических материалов, обеспечивающая эффективность создания и совершенствование эксплуатационных параметров гетерогенных систем.

2. Впервые систематизирован экспериментальный материал на основе комплексных исследований по управлению свойствами многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических систем, синтезированных в квазиравновесных условиях, за счет выбора условий конденсации и действия внешних дестабилизирующих факторов, включая рентгеновские лучи, отжиг. Получены эпитаксиальные пленки твердых растворов PbS Se с широким диапазоном изменения состава по х из исходной за t

грузки PbS с применением дополнительного источника, содержащего селен, и исследованы их свойства.

3. Впервые установлены физико-химические закономерности получения многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических материалов в квазиравновесных условиях с управляемыми свойствами вида: режимы синтеза - состав - внешние факторы - свойства на основе комплексного подхода, включающего исследования кинетики конденсации и испарения, равновесия твердая - газовая фаза, процессов, протекающих в твердых телах при действии дестабилизирующих факторов, и применения термодинамики фаз переменного состава для квазиравновесных условий.

4. Впервые на базе физико-химических закономерностей управляемого синтеза различных многокомпонентных материалов развиты основы технологии гетерогенных систем, включая фотоэлектрические преобразователи на диэлектрических подложках с использованием срединений А В6, чувствительные элементы на основе пленочных хромоникелевых резисторов для преобразователей физических величин.

5. Получены новые экспериментальные данные и разработаны модели временной стабилизации параметров чувствительных элементов на основе пленочных хромоникелевых резисторов для преобразователей физических величин за счет технологических режимов синтеза и дозированного воздействия рентгеновских лучей и отжига. 

6. Разработаны алгоритмы расчетов кинетики роста пленок и их электрофизических свойств, позволяющие прогнозировать электрические и механические характеристики многокомпонентных систем и параметры приборов на их основе, что актуально при моделировании свойств многокомпонентных материалов и параметров гетерогенных систем. Практическая ценность работы заключается в развитии основ технологии управляемого синтеза многокомпонентных материалов, гетерогенных систем различных видов, в исследовании свойств широкого класса веществ, включающих многокомпонентные проводниковые, полупроводниковые и диэлектрические материалы, и параметров приборов с их использованием. Основные теоретические положения применяются на практике в виде конкретных методик.

1. Предложенный в диссертационной работе научный подход к формированию различных многокомпонентных материалов с контролируемыми свойствами и разработанная методология управляемого синтеза обеспечивают повышение эффективности технологии гетерогенных систем и улучшение их выходных параметров за счет выбора технологических режимов синтеза, дозированного рентгеновского воздействия и отжига.

2. Установлены технологические режимы синтеза и обработки многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических материалов, позволяющие управлять их электрическими и механическими свойствами. Получены эпитаксиальные пленки сульфида свинца и твердых растворов сульфид свинца-селенид свинца на диэлектрических подложках высокого структурного совершенства со свойствами, близкими к свойствам монокристаллов.

3. Разработана технология и изготовлены многоэлементные матрицы фотоэлектрических преобразователей на основе /?-и-гомопереходов и барьеров Шоттки с использованием эпитаксиальных пленок соединений А4В6 с высокими выходными параметрами, близкими к мировым.

4. Разработаны технологические основы и; изготовлены пленочные хромоникелевые резисторы для чувствительных элементов преобразователей физических величин с высокостабильными выходными параметрами.

5. Диссертационная работа выполнялась в соответствии с планом госбюджетных научно-исследовательских работ: «Исследование и разработка технологических процессов микроэлектроники»; .• «Разработка методов и средств исследования материалов и элементов электронной техники», координационным планом АН СССР, научно-техническими и научно-отраслевыми программами Министерства образования и науки РФ, грантами Министерства образования и науки РФ.

6. Теоретические и практические результаты диссертационной работы использованы в производстве на предприятии ФГУП НИИФИ (г. Пенза) и в научно-исследовательских работах, выполненных в рамках координационного плана АН СССР по проблеме 2.21.3.5 «Исследование свойств полупроводниковых пленочных материалов и физико-химических процессов на поверхности полупроводников»; проблеме 2.21.3.4 «Изучение структурных дефектов в полупроводниках»; по грантам Министерства образования и науки РФ: «Исследование деградационных процессов в сегнетоэлектриках на автоматизированном комплексе»; «Влияние дестабилизирующих факторов на свойства сегнетоэлектриков» (2001-2004 гг.); по научно-техническим, научно-отраслевым и аналитическим ведомственным целевым программам Министерства образования и науки РФ: «Научное, научно-методическое, материально-техническое обеспечение развития технологий информационного общества и индустрии образования» (2003 г.); «Развитие научного потенциала высшей школы» (2004-2008 гг.); по трем госконтрактам в рамках научно-отраслевой программы Федерального агентства по образованию РФ: «Развитие информационных ресурсов и технологий! Индустрия образования» (2004 г.) и НИР «Исследование методов прогнозирования стабильности параметров тонкопленочных резисторов», № Г.Р. 01.89.0056842 (1989 г.); «Исследование методов повышения стабильности тонкопленочных структур для ДПА», № Г.Р. 01.91.0045750 (1991 г.). Это подтверждается актами, приведенными в приложении А.

7. Результаты диссертационной работы используются в учебном процессе и научных исследованиях Ленинградского электротехнического ин ститута имени В.И.Ульянова (Ленина) (ныне Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет), Казанского государственного технологического университета, Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (ТУ), Московского государственного технического университета имени Н.Э.Баумана, Ростовского государственного университета, Санкт-Петербургского государственного института точной механики и оптики, Пензенского государственного университета, Воронежского госуниверситета, ФГУП РНПО • «Росучприбор», Санкт-Петербургского государственного университета аэрокосмического приборостроения, Северо-Кавказского государственного технического университета, что подтверждается соответствующими актами (приложение Б). На защиту выносятся:

1. Методология технологии управляемого синтеза многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических материалов, обеспечивающая эффективность технологии приборостроения и совершенствование эксплуатационных параметров гетерогенных систем.

2. Термодинамика фаз переменного состава,- применимая к квазиравновесным условиям получения многокомпонентных систем: диаграммы условия конденсации - состав - свойства многокомпонентных систем, являющиеся основой технологии управляемого синтеза многокомпонентных систем.

3. Физико-химические закономерности управления свойствами многокомпонентных проводниковых, полупроводниковых и диэлектрических материалов при различных условиях конденсации и дозированного действия внешних дестабилизирующих факторов.

4. Экспериментальные зависимости вида: технологические режимы синтеза - состав - внешние дестабилизирующие факторы - свойства многокомпонентных материалов - выходные параметры гетерогенных систем для фотоэлектрических преобразователей и преобразователей физических величин.

5. Методики и результаты временной стабилизации выходных параметров пленочных хромоникелевых резисторов для чувствительных элементов преобразователей информации.

6. Результаты моделирования кинетики роста многокомпонентных систем, их электрофизических свойств и выходных параметров гетерогенных систем для фотоэлектрических преобразователей и преобразователей физических величин.

7. Технологические режимы и процессы получения фотоэлектрических преобразователей на основе соединений А4В6 с использованием диэлектрических подложек с высокими выходными параметрами и пленочных хромо-никелевых резисторов для чувствительных элементов преобразователей физических величин с высокостабильными параметрами.

Апробация работы. Основные результаты -диссертации докладывались и обсуждались на всесоюзных, всероссийских и международных конференциях, семинарах, симпозиумах: VI Всесоюзная конференция по химии, физике и техническому применению халькогенидов (Тбилиси, 1983); II Всесоюзная конференция по физике и технологии тонких пленок (Ивано-Франковск, 1984); III Всесоюзная конференция по физико-химическим основам сегнетоэлектриков и родственных материалов (Звенигород, 1988); XII Всесоюзная конференция по физике сегнетоэлектриков (Ростов-на-Дону, 1989); The International conference «Electronic ceramics - production and properties» (Riga, 1990); International symposium «Domain structure of ferroelectric and related materials» (Volgograd, 1989); Всесоюзная конференция «Микроэлектронные датчики в машиностроении» (Пенза, 1990); Российская научно-техническая конференции «Методы оценки и повышение надежности РЭС» (Пенза, 1991); Российский семинар «Микропроцессоры в системах контроля и управления» (Пенза, 1991); XIII Всероссийская конфе ренция по физике сегнетоэлектриков (Тверь, 1992); Nordic Symposium on mesoscopic electron systems (Fuglsocentret, Denmark, 1992); Six International seminar on ferroelectric physics (Voronezh, 1994); Международная научно-методическая конференция «Университетское образование в условиях рыночных отношений» (Пенза, 1996); International Seminar on relaxor ferroelectrics (Dubna, 1996); VII Международный семинар по физике сегнетоэлектриков (Казань, 1997); Научно-техническая конференция «Актуальные проблемы анализа и обеспечения надежности и качества приборов, устройств и систем» (Пенза, 1998); Международный симпозиум «Надежность и качество» (Пенза, 2001 - 2004, 2006); Международная научно-методическая конференция «Университетское образование» (Пенза, 2001 - 2006); V Международная конференция «Вакуумные технологии и оборудование», XIV Международный симпозиум «Тонкие пленки в • оптике и электронике» (Харьков, 2002); VIIh Russia/CIS/Baltic/Japan Symposium on ferroelectricity (St.Peterburg, 2002); Международная конференции «Оптика, оптоэлектрони-ка и технологии» (Ульяновск, 2002, 2003); Международная научно-техническая конференция «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники» (пос. Дивноморское, 2002, 2004, 2006); IV Международная научно-техническая конференция «Методы и средства измерения в системах контроля и управления» (Пенза, 2002); IV Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика-2002» (Москва, 2002); Международная научно-техническая конференция «Тонкие пленки и слоистые структуры», «Пленки-2002» (Москва, 2002); Международная школа-семинар по электронным приборам и материалам (Эрлагол, Горный Алтай, 2003); Международная научно-техническая конференция «Перспективные технологии в средствах передачи информации» (Владимир, 2003, 2005); Xh European Ferroelectricity Conference (Cambridge UK, 2003); Всероссийская научно-практическая конференция «Человеческое измерение в информационном обществе» (Москва, 2003); Международный юбилейный симпозиум «Актуальные проблемы науки и образования» (Пенза, 2003); Международная научно-техническая конференция «Межфазная релаксация в полиматериалах», «Полиматериалы-2003» (Москва, 2003); Международная научно-техническая конференция «Проблемы автоматизации и управле-ния в технических системах» (Пенза, 2004); Всероссийская научно-практическая конференция «Образовательная среда сегодня и завтра» (Москва, 2004); The XXI International Conference on Relaxation phenomena in solids (RPS-21) (Voronezh, 2004); IV Международная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (Кисловодск, 2004); VI Международная конференция «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (Ульяновск - Сочи, 2004); XVII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (Пенза, 2005); Международная научно-техническая конференция «Материалы для пассивных радиоэлектронных компонентов» (Пенза, 2005); Международная научная конференция «Тонкие пленки и наноструктуры», «Пленки-2005» (Москва, 2005), Международная научно-техническая конференция «Аналитические.и численные методы моделирования естественнонаучных и социальных проблем» (Пенза, 2006), Всероссийская научно-техническая конференция «Методы создания, исследования материалов, приборов и экономические аспекты микроэлектроники» (Пенза, 2006). 

Публикации. По материалам диссертации опубликовано 120 работ, в том числе монография, два учебных пособия (одно с грифом УМО), получено 2 авторских свидетельства и патент РФ на изобретение. Отдельные результаты отражены в 14 отчетах по НИР, зарегистрированных в ВНИТЦ. Основные положения диссертации полностью представлены в опубликованных работах.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, семи глав, заключения, списка литературы из 323 наименований, четырех приложений. Общий объем диссертации,- 381 страница машинописного текста, включая 157 рисунков и 23 таблицы. 

Подобные работы
Овчинников Андрей Александрович
Исследование влияния конструкций и технологии изготовления на стойкость оптических кабелей для систем передачи информации к воздействию механических нагрузок
Ширяева Наталья Алексеевна
Исследование гетероструктур и разработка технологии изготовления лазерных излучателей для волоконно-оптических систем
Микаева Светлана Анатольевна
Разработка и исследование технологии производства компактных люминесцентных ламп информационно-измерительных приборов и систем
Костенко Кирилл Николаевич
Исследование и разработка конструкции и технологии изготовления интегрально-оптических демультиплексоров для информационно-измерительных приборов и систем
Столяров Юрий Юрьевич
Технология и реологические свойства водных дисперсных систем
Столяров Юрий Юрьевич
Технология и реологические свойства водных дисперсных систем
Воронин Александр Иванович
Разработка системы управления параметрами технологии силикатных автоклавных бетонов в условиях нестабильности свойств применяемой извести
Борило Лариса Николаевна
Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе системы двойных оксидов ZrO2-GeO2
Щербакова Нина Афанасьевна
Разработка технологии получения малорастяжимой высокообъемной пряжи по кардной системе прядения хлопка и исследование её свойств
Слаутин Олег Викторович
Исследование структуры и физико-механических свойств слоистых интерметаллидных композитов систем Cu-Al и Ti-Fe с разработкой комплексной технологии их получения

© Научная электронная библиотека «Веда», 2003-2013.
info@lib.ua-ru.net