Электронная библиотека Веда
Цели библиотеки
Скачать бесплатно
Доставка литературы
Доставка диссертаций
Размещение литературы
Контактные данные
Я ищу:
Библиотечный каталог российских и украинских диссертаций

Вы находитесь:
Диссертационные работы России
Технические науки
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Диссертационная работа:

Алтухов Андрей Александрович. Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, 05.11.14.- Москва, 2005.- 174 с.: ил. РГБ ОД, 61 05-5/3835

Подобные работы
Миркурбанов Халит Абдулгазизович
Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов
Громов Вячеслав Сергеевич
Основы создания и применения полупроводниковых элементов и микроэлектронных устройств интегральной теплоэлектроники
Курбатов Олег Константинович
Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники
Адамов Григорий Евгеньевич
Слоистые структуры на основе бактериородопсина: получение, строение и применение для элементов устройств обработки информации
Середин Лев Михайлович
Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента
Андреев Андрей Юрьевич
Моделирование концентрационных профилей компонентов в низкоразмерных гетероструктурах InGaAs/(Al)GaAs, формируемых методом МОС-гидридной эпитаксии
Мармалюк Александр Анатольевич
Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники
Апраксин Дмитрий Васильевич
Разработка, исследование и моделирование процессов изготовления интегрально-оптических элементов в кристаллах ниобата лития
Алкаев Александр Николаевич
Разработка и исследование метода высокотемпературного протонного обмена для формирования волноводных структур в кристаллах ниобата и танталата лития
Ковалева Наталья Львовна
Разработка и исследование процесса и оборудования низкотемпературного испарения влагосодержащих веществ в вакууме

© Научная электронная библиотека «Веда», 2003-2013.
info@lib.ua-ru.net