Электронная библиотека Веда
Цели библиотеки
Скачать бесплатно
Доставка литературы
Доставка диссертаций
Размещение литературы
Контактные данные
Я ищу:
Библиотечный каталог российских и украинских диссертаций

Вы находитесь:
Диссертационные работы России
Технические науки
Электротехнология

Диссертационная работа:

Терентьев Сергей Александрович. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10, 05.27.01.- Саратов, 2002.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2086-2


© Научная электронная библиотека «Веда», 2003-2013.
info@lib.ua-ru.net