Электронная библиотека Веда
Цели библиотеки
Скачать бесплатно
Доставка литературы
Доставка диссертаций
Размещение литературы
Контактные данные
Я ищу:
Библиотечный каталог российских и украинских диссертаций

Вы находитесь:
Диссертационные работы России
Технические науки
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Диссертационная работа:

Адамов Григорий Евгеньевич. Слоистые структуры на основе бактериородопсина: получение, строение и применение для элементов устройств обработки информации : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06, 05.11.14 : Москва, 2004 159 c. РГБ ОД, 61:05-5/812

смотреть содержание
смотреть введение
Содержание к работе:

стр.
ВВЕДЕНИЕ
9

ГЛАВА 1 (Аналитический обзор)

ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ПРИМЕНЕНИЯ
БАКТЕРИОРОДОПСИНА В ПРИБОРАХ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
18

  1. Материалы и технологии для приборов молекулярной электроники 18

  2. Бактериородопсин 19

  3. Приборы на основе функциональных элементов, выполненных в виде отдельных молекул и молекулярных ансамблей 20

  1. Устройства хранения и преобразования информации на основе явления электронно-структурной неустойчивости проводящих молекулярных ансамблей , 21

  2. Запоминающие устройства на основе молекул ротаксана и хироптицена 23

  3. Устройство объемной памяти на основе разветвленного фотоцикла молекул БР 26

1.4. Приборы на основе молекулярных функциональных сред 28

  1. Процессор обработки изображений в распределенных непрерывных средах с обратными связями 28

  2. Ассоциативный процессор для распознавания изображений на базе функциональных слоев БР 32

1.5. Многослойные структуры на основе непрерывных сред для записи,

хранения и считывания информации 35

  1. Оптические диски 35

  2. Флуоресцентные диски . 36

  3. «БиоФолд» - технология хранения информации с применением БР .. 37

1.6. Материалы и структуры для голограф ических элементов информационных
приборов 37

1.6.1. Материалы и структуры для голограф ических элементов

запоминающих устройств , 37

1,6.1.1. Многослойное запоминающее устройство на основе

полимерных функциональных материалов Info-MICA 38

1.6.1.2. Устройства голографической записи и хранения

информации на основе БР 40

  1. Функциональные структуры и оборудование для технологического контроля процессов получения материалов электронной техники 41

  2. Устройство коммутации на основе БР 43

  3. Сравнительные характеристики материалов для голографических элементов информационных приборов 46

1.7. Выводы по главе 50

ГЛАВА 2

ПОЛУЧЕНИЕ И СТРОЕНИЕ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ

БАКТЕРИОРОДОПСИНА ДЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИБОРОВ

ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ 53

2.1. Получение пленок бактериородопсина 53

  1. Материалы и химические реагенты 53

  2. Предварительная очистка суспензий БР 54

  3. Получения пленок БР методом электрофоретического осаждения 54

  4. Получения пленок БР методом полива 56

  5. Получения пленок при контролируемой влажности 58

2.2. Разработка технологии и оборудования получения слоев неорганических
веществ на поверхности пленок бактериородопсина методом
электронно-лучевого испарения 58

  1. Модернизированная установка магнетронного распыления 58

  2. Установка термического осаждения металлов 60

  1. Испаритель с электронным нагревом 62

  2. Блок питания испарителя 63

  3. Блок измерения толщины пленок 65

2.3 Строение пленок бактериородопсина 67

  1. Исследование поверхности пленок БР методом растровой электронной микроскопии 67

  2. Исследование поверхности пленок БР методом атомно-силовой микроскопии 74

  3. Исследование пленок БР методом рентгеновской дифрактометрии ... 79

  1. Определение элементного состава пленок БР методом рентгеноспектрального микроанализа . 82

  2. Исследование строения пленок БР методом просвечивающей электронной микроскопии 84

  3. Исследование пленок БР методом спектроскопии комбинационного рассеивания 86

2.4. Выводы по главе 88

ГЛАВА 3

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ

ПЛЕНОК БАКТЕРИОРОДОПСИНА НА ИХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ

СВОЙСТВА 89

  1. Метод оценки функциональных параметров материалов на основе бактериородопсина 90

  2. Стенд для исследования функциональных свойств материалов на основе бактериородопсина 93

  3. Исследование функциональных свойств материалов на основе бактериородопсина . 95

  1. Исследование функциональных свойств пленок БР, модифицированных тетраборатом натрия 96

  2. Исследование функциональных свойств пленок БР с модифицированной хромофорной частью 97

  3. Исследование функциональных свойств пленок БР, модифицированных бифункциональными молекулами 101

  1. Исследование функциональных свойств пленок БР, модифицированных парафенилендиамином 102

  2. Исследование функциональных свойств пленок БР, модифицированных глутаровым альдегидом 103

3.3.4. Исследование фотохромных свойств пленок БР, модифицированных
аминокислотами 105

  1. Пленки БР, модифицированные чистыми аминокислотами ... 106

  2. Пленки БР, модифицированные буферными системами на основе аминокислот 107

3.3.5. Исследование функциональных параметров пленок БР с введением

наночастиц Au 108

  1. Зависимость функциональных свойств от строения пленок 110

  2. Выводы по главе 111

ГЛАВА 4

СОЗДАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ

УСТРОЙСТВ И ПРИБОРОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ

МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР,

СОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНКИ БАКТЕРИОРОДОПСИНА 113

4.1. Создание и исследование многофункциональных слоистых структур,
содержащих пленки бактериородопсина 113

4.1.1. Конструирование многофункциональных слоистых структур и

выбор материалов . 113

  1. Технология получения многофункциональных слоистых структур .... 115

  2. Исследование зависимости характеристик многофункциональных слоистых структур от технологических режимов 116

4.2. Макетирование элементов на основе голографических свойств
бактериородопсина, пригодных для информационно-измерительных устройств

и приборов электронной техники 118

  1. Стенд для исследования голографических свойств многофункциональных слоистых структур на основе БР 118

  2. Определение конструктивных голографических параметров слоев на основе БР 120

  1. Явление самодифракции в слоях на основе БР 120

  2. Время жизни динамических дифракционных решеток, полученных в слоях на основе БР 120

4.2.3. Исследование взаимосвязи фотохромных и голографических

свойств слоев на основе БР 121

4.3. Исследование макетных элементов на основе слоистых структур со слоями
бактериородопсина, пригодных для информационно-измерительных устройств

и приборов электронной техники 121

4.3.1. Исследование функциональных характеристик слоистых структур ... 121
4.3.1.1, Оптическое разрешение слоев на основе БР 121

4.3.1.2. Исследование модового состава слоистых

волноводных структур 123

4.3.1.3. Эффективность ввода-вывода излучения в
многофункциональные слоистые структуры 124

  1. Получение голограмм прозрачных объектов 125

  2. Получение голограмм непрозрачных объектов 126

  1. Формирование элементов электронной техники и биомолекулярной электроники на основе процессов в нелинейных диссипативных средах с распределенными обратными связями 130

  2. Выводы по главе 130

ЗАКЛЮЧЕНИЕ 132

ЛИТЕРАТУРА 137

ПРИЛОЖЕНИЯ:

Акт реализации результатов диссертационной работы (ФГУП ВНЦ «Государственный оптический институт им. С.И.Вавилова», Санкт-Петербург) 153

Акт внедрения результатов диссертационной работы (ОАО «Центральный научно-исследовательский технологический институт «Техномаш», Москва)... 154

Акт использования результатов диссертационной работы (Физический факультет МГУ им. М.В.Ломоносова, Москва) 156

Акт о внедрении распылительного устройства для осаждения пленок на материалы, содержащие биологические фазы (ООО «Высокие технологии» НИИЯФ МГУ, Москва) 157

Акт использования результатов диссертационной работы (ЗАО «Констеллейшн 3 Ди Восток», Москва) 158

Акт о внедрении результатов диссертационной работы (ТОО «Механика сплошных сред», Москва) 159

Введение к работе:

Актуальность темы

Современное развитие планарных кремниевых технологий ведет к уменьшению физических размеров элементов. В настоящее время для полупроводникового транзистора достигнуты размеры <100нм. Ожидаемый в ближайшие несколько лет переход литографии на использование ультрафиолетового (УФ) излучения с длиной волны А,= 13,5нм и мягкого рентгеновского излучения позволит получать элементы с размерами 10-20 нм. В настоящее время в России осуществляются проекты по созданию нанотранзисторов с длинами каналов 50 нм, а также по разработке зондовых технологий формирования элементов с размерами <10нм.

Уменьшение размеров элементов приводит к появлению новых физических свойств, характерных для нанометрового диапазона: значительную роль начинают играть квантовые явления. Очевидно, что построение и функционирование устройств электронной техники с применением наноразмерных элементов, основанное на иных физических принципах, требует разработки новых материалов и технологических решений по сравнению с используемыми в современной микроэлектронике. Многообещающим направлением является создание функциональных структур, в которых роль элементов выполняют отдельные молекулы (молекулярная электроника). В связи с этим, ведется поиск, создание и применение бистабильных молекул и молекулярных комплексов, имитирующих работу полупроводникового транзистора, широко исследуются наноструктурированные и супрамолекулярные материалы, позволяющие создавать устройства на основе самоорганизации функциональных структур в ходе технологического процесса.

Созданы первые экспериментальные образцы устройств молекулярной электроники: оперативное запоминающее устройство на базе органического полимера класса ротаксанов емкостью 64 бита на площади -1-ІО"8 см2 (компания «Хьюлетт-Паккард»); трехмерное (3D) устройство памяти на основе молекул органического вещества хироптицена с емкостью до 1 Тбит в объеме 1 см (компания «КАЛМЕК»).

Большие перспективы в плане создания элементов устройств обработки информации связаны с биоорганическим полимером бактериородопсином (БР), получение которого освоено в промышленных масштабах. В Сиракузском университете США на действующих макетах проверены принципы и показана

10 возможность построения на основе БР объемных модулей оперативной памяти с емкостью -80 Гбит в объеме 3 см3.

Молекулы БР имеют размер 5 нм и образуют двумерные биологические кристаллы, которые называют пурпурными мембранами (ПМ). Бактериородопсин обладает фотоэлектрическими свойствами, управляется оптическим воздействием и внешним электрическим полем. Материалы на основе БР обладают фотохромними свойствами (основное состояние БР570 с максимумом поглощения А, = 570 нм и одно из промежуточных состояний М412 с максимумом поглощения А, = 412нм), характеризуются хорошей пороговой чувствительностью (0,01 Дж/см2), оптическим разрешением (до 5000 лин/мм), наивысшей среди известных материалов цикличностью (>1-10 ). Экспериментально доказано, что в технических устройствах ресурс БР составляет не менее 105 ч. Физико-химические параметры БР позволяют применять методы формирования топологии, используемые в микроэлектронике и микрофотонике. С использованием БР могут быть получены нанокомпозитные материалы, содержащие металлические нано частицы, полимерные структуры, правильные кубические упаковки наносфер Si02 (3D фотонные кристаллы).

Материалы на основе БР перспективны для создания новой элементной базы электронной техники и информационных систем (3D ассоциативной памяти, съемных дисковых запоминающих устройств, высокопроизводительных схем обработки изображений, устройств распознавания образов, приборов для динамической голографии и голографической интерферометрии).

Применению фотоэлектрических и фотохромных свойств БР в устройствах электронной техники посвящены работы Всеволодова В.В., Корчемской ЕЯ., Салахутдинова В.К., Берджа Дж.Дж., Браухле С, Варо Г., Дауни Дж.Д., Остерхельта Д., РенугопалакришныВ., ХаммпаН. и других. Однако вопросы создания технологий и оборудования для получения функциональных сред на основе БР решались недостаточно интенсивно.

Таким образом, исследования в области разработки технологий и оборудования для получения функциональных материалов и элементов на основе БР актуальны и соответствуют передовым направлениям развития элементной базы приборов электронной техники нового поколения.

Цель работы

Целью настоящей работы является получение многофункциональных слоистых структур, включающих в различном сочетании пленки БР; композиционные материалы, содержащие БР и металл; проводящие полимерные слои; полимерные

компоненты интегральной оптики, для создания приборов электронной техники с улучшенными эксплуатационными характеристиками.

При достижении поставленной цели решались следующие основные задачи:

- разработка технологии получения пленок БР на основе водных, суспензий БР
путем введения в них наночастиц Аи, а также модифицирующих химических
(неорганических и органических) соединений, способствующих формированию
структур с повышенными стабильностью и чувствительностью;

-разработка технологии и модернизация оборудования для получения совмещенных со слоями на основе БР планарных полимерных волноводов с заданным модовым составом и встроенными дифракционными решетками, обеспечивающими высокоэффективный ввод-вывод оптического излучения;

разработка технологии и оборудования для получения металлических покрытий на пленках БР методом электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления;

разработка технологии получения многофункциональных слоистых структур на основе БР и проводящих полимерных материалов методами электрофоретического осаждения и электрополимеризации в едином технологическом цикле;

исследование взаимосвязи параметров процесса получения, особенностей строения, состава и функциональных свойств пленок и композиционных материалов на основе БР;

разработка конструкций, изготовление и исследование элементов устройств электронной техники и информационно-измерительных приборов на основе многофункциональных слоистых структур, включающих в различном сочетании БР, композиционные материалы на основе БР и наночастиц Аи, проводящие полимеры, а также полимерные компоненты интегральной оптики.

Научная новизна

  1. Разработаны технологии получения пленок БР с введением модифицирующих соединений, позволяющие увеличить чувствительность пленок БР в 1,5-2 раза, а стабильность в 8-Ю раз.

  2. Впервые разработаны технологии и оборудование для получения многофункциональных слоистых структур, включающих ориентированные слои БР и проводящие полимерные материалы, методами электрофоретического осаждения и электрополимеризации в едином технологическом цикле.

  1. Разработаны технологии получения (методами фотополимеризации, центрифугирования и др.) пленарных полимерных волноводов на основе системы слоев поликарбонатметакрилат - поливинилкарбазол - поликарбонатметакрилат (суммарная толщина <20 мкм) с заданным модовым составом и встроенными дифракционными решетками, обеспечивающими ввод-вывод излучения с эффективностью >8%.

  2. Сконструировано и изготовлено специальное технологическое оборудование для осаждения методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления пленок различных материалов на многофункциональные слоистые структуры, содержащие БР, без нарушения функциональных свойств БР.

  3. Исследованы состав и строение пленок БР с введением наночастиц Au, а также модифицирующих химических (неорганических и органических) соединений. Впервые установлена зависимость между изменением строения и функциональными характеристиками пленок БР в процессе их эксплуатации.

  4. Экспериментально подтвержден механизм повышения чувствительности и стабилизации свойств пленок БР за счет введения в них наночастиц Аи, а также модифицирующих химических (неорганических и органических) соединений.

  5. Разработана математическая модель изменения физико-химических характеристик материалов на основе БР в зависимости от параметров воздействующего светового потока. Введен комплексный параметр kS70(t), характеризующий чувствительность материалов на основе БР, - коэффициент фотоиндуцированного перехода молекул БР из основного состояния БР570.

  6. Разработаны и созданы экспериментальные методика и установка для определения коэффициента фотоиндуцированного перехода молекул БР из основного состояния БР570 для пленок и многофункциональных слоистых структур на основе БР.

  7. Впервые экспериментально обоснована возможность применения многофункциональных слоистых структур, включающих в различном сочетании БР, композиционные материалы на основе БР и наночастиц Аи, проводящие полимеры, а также полимерные компоненты интегральной оптики, для создания элементов устройств электронной техники (запоминающие устройства, системы обработки изображений, системы динамической голографии, информационно-измерительные приборы нового поколения).

Достоверность полученных результатов подтверждается удовлетворительным согласием математической модели и экспериментальных результатов;

13 непротиворечивостью полученных данных и сделанных выводов с результатами других исследователей; обеспечивается использованием современных методов исследования и метрологически аттестованного оборудования, анализом и учетом возможных источников погрешностей, статистической обработкой результатов измерений.

На защиту выносятся

  1. Конструкторские и технологические решения по получению многофункциональных слоистых структур на основе пленок БР с повышенными чувствительностью и стабильностью за счет введения модифицирующих химических (неорганических и органических) соединений; ориентированных слоев БР и проводящих полимерных материалов; планарных полимерных волноводов с заданным модовым составом и встроенными дифракционными решетками.

  1. Сконструированное и изготовленное специальное технологическое оборудование для осаждения методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления пленок различных материалов на многофункциональные слоистые структуры, содержащие БР, без нарушения его функциональных свойств.

  2. Математическая модель, экспериментальные методика и установка для определения комплексного параметра kj7o(0-> характеризующего чувствительность материалов на основе БР, - коэффициента фото индуцированного перехода молекул БР из основного состояния БР570.

  3. Результаты исследования влияния параметров процесса получения, особенностей строения и состава на функциональные свойства пленок и композиционных материалов на основе БР. Результаты исследования зависимости между изменением строения и функциональными характеристиками пленок БР в процессе их эксплуатации.

  4. Результаты экспериментов по применению многофункциональных слоистых структур, включающих в различном сочетании БР, композиционные материалы на основе БР и наночастиц Аи, проводящие полимеры, а также полимерные компоненты интегральной оптики, в элементах устройств электронной техники и информационно-измерительных приборов.

Практическая ценность работы

1. Разработаны технологии и оборудование для формирования пленок БР и многофункциональных слоистых структур, включающих пленки БР, композиционные материалы на основе БР и наночастиц Аи, проводящие полимеры, а также

14 полимерные компоненты интегральной оптики. Разработана методика контроля функциональных характеристик пленок и многофункциональных слоистых структур на основе БР. Показана возможность применения пленок и многофункциональных слоистых структур на основе БР для создания элементов запоминающих устройств, систем обработки изображений, систем динамической голографии, информационно-измерительных приборов для диагностики технологических систем и процессов.

Разработанные технологические процессы и оборудование могут быть рекомендованы для использования на предприятиях Федерального агентства по промышленности Минпромэнерго РФ, специализирующихся в области изготовления устройств электронной техники.

  1. Материалы диссертационной работы использованы в следующих организациях: ФГУТТ ВНЦ «ГОИ им. С.И.Вавилова» (Санкт-Петербург), ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» (Москва), МГУ им. М.В.Ломоносова (Москва), ООО «Высокие Технологии» НИИЯФ МГУ (Москва), ЗАО «Констеллейшен ЗД Восток» (Москва), ТОО «Механика Сплошных Сред» (Москва).

  2. Представленные в диссертационной работе исследования выполнены по планам научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» в соответствии с:

федеральной целевой программой «Программа реформирования оборонного-промышленного комплекса (2002-2006 годы)» по темам: НИР «Разработка самоадгезионных полимерных композиций с низкой температурой отверждения для послойной бескорпусной герметизации нейроподобных элементов на основе бактериородопсина»; НИР «Тестирование и отладка методики и программных средств на примере разработки технологий создания наноструктур активных фотонных кристаллов»;

федеральной целевой программой «Национальная технологическая база» на 2002-2003 и 2002-2006 годы по темам: НИОКР «Разработка технологий промышленного производства поликристаллических алмазных пленок и создание на их основе углеродных покрытий, многослойных и 3-х мерных структур для устройств связи, отображения и обработки информации»; НИР «Фундаментальные исследования по созданию принципов формирования молекулярных устройств для разработки основ новой элементной базы военного назначения»;

научным мероприятием «Первоочередные работы в области нанотехнологиЙ, наноматериалов, наноиндустрии»;

проектом № 474-98 «Голографическая дисдрометрия» Международного научно-технического центра.

15 Апробация работы

Результаты работы докладывались и обсуждались на рабочих совещаниях НТЦ «Перспективные технологии» ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» (Москва, 2001-2004), Научном семинаре МГТУ им. Н.Э.Баумана «Нанотехнология, нанотехника и микромеханика» (Москва, 2001), VIII-X Международных научно-технических конференциях «Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства электронной техники)» (Москва, 2002, 2003, 2004); 14-15 Международных симпозиумах «Тонкие пленки в оптике и электронике» (Харьков, Украина, 2002, 2003); 6 Международной конференции «Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем» (Иваново, 2002); 1 Международном конгрессе «Биотехнология - состояние и перспективы развития» (Москва, 2002); Международной конференции «Биокатализ-2002: основные принципы и применения» (Москва, 2002); 1 и 2 Межрегиональных семинарах «Нанотехнологии и фотонные кристаллы» (Йошкар-Ола, 2003; Калуга, 2004); Международной научной конференции «Тонкие пленки и наноструктуры» (Москва, 2004); XVI Международном симпозиуме «Тонкие пленки в электронике» (Москва, 2004).

Результаты диссертационной работы отмечены Дипломом 3 Международного форума «Высокие технологии оборонного комплекса» (Москва, 2002) за разработку и создание многослойных структур на основе бактериородопсина для устройств распознавания образов и оптической обработки информации и Дипломом XVI Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» (Москва, 2004) за разработку технологии получения пленок новых материалов для приборов электронной техники и молекулярной электроники на основе бактериородопсина, а также исследование их строения и функциональных свойств.

Публикации

Основные научные результаты диссертационной работы представлены в 18 статьях, опубликованных в научных журналах, а также в материалах всероссийских и международных конференций, симпозиумов и семинаров. Были получены патент Российской Федерации на изобретение и свидетельство на полезную модель.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех глав, выводов, списка литературы из 158 наименований и приложений. Приложения включают в себя 6 актов внедрения,

использования, реализации результатов диссертационной работы, оборудования и технологии получения пленок и многофункциональных слоистых структур на основе БР. Работа содержит 151 страницу основного текста, включающих 7 таблиц и 88 рисунков.

Личный вклад автора

Весь экспериментальный материал получен автором лично. Научный руководитель Е.П.Гребенников и научный консультант А.Ф.Белянин принимали участие в постановке задачи и обсуждении полученных результатов, редактировании статей, А.Г.Девятков и Л.Н.Гнатюк - в постановке отдельных экспериментов по динамической голографии. Автор разработал основные конструкторские решения и методики исследований, математическую модель, осуществил расчеты на основании массива экспериментальных данных, их анализ и обобщение. Все результаты, составляющие научную новизну диссертационной работы и выносимые на защиту, получены автором лично.

Структура и объем диссертации

Во введении обосновывается актуальность разработок технологий и оборудования для создания новых материалов и функциональных структур, направленных на формирование элементной базы приборов электронной техники на основе молекулярной электроники, наноструктурированных и нанокомпозитных материалов; формулируются цель работы и задачи, решаемые для достижения поставленной цели; изложены основные научные результаты, выносимые на защиту; показаны научная новизна исследования и ее практическая ценность; представлены результаты внедрения разработанных материалов на основе БР, а также технология и оборудование для получения с использованием БР компонентов приборов электронной техники и информационно-измерительных устройств.

В первой главе рассмотрены материалы и приборы молекулярной электроники, функциональные элементы которых выполнены в виде отдельных молекул и молекулярных комплексов, приборы на основе молекулярных функциональных сред, включая слоистые структуры для информационных систем, в том числе с использованием голографических принципов хранения данных.

Проанализированы конструктивно-технологические решения на базе бистабильных молекул и молекулярных комплексов, имитирующих работу полупроводникового транзистора. Рассмотрены явления электронно-структурной

17 неустойчивости проводящих молекулярных комплексов, а также устройства хранения и преобразования информации на этой основе.

Представлены варианты исполнения процессоров обработки изображений, а также приборов для записи, хранения, считывания информации с использованием молекулярных сред в составе многослойных структур.

Рассмотрены физические, химические и технологические свойства БР, приведены примеры использования БР в многослойных структурах и в голографических элементах для устройств обработки, записи, хранения и считывания информации, коммутационных устройств, а также информационно-измерительных приборов для диагностики технологических процессов получения материалов электроники. Показаны функциональные преимущества и перспективность применения БР в приборах электронной техники.

Обоснована актуальность разработки технологий и материалов, позволяющих получать среды на основе БР со стабильно высокими фоточувствительностью и квантовым выходом; слоистые структуры, включающие пленки БР; слои проводящих материалов и диэлектриков. Представлены этапы выполнения работы для достижения поставленной цели.

Во второй главе рассмотрены методы и оборудование, использованные в работе для формирования пленок на основе БР и их металлизации. Представлены результаты исследования состава и строения пленок на основе БР.

В третьей главе представлены стенд для исследования и метод комплексной оценки функциональных параметров материалов на основе БР, рассмотрены влияние технологических процессов и сред на свойства пленок БР, а также результаты исследований зависимости функциональных параметров от строения пленок.

В четвертой главе представлены конструкторско-технологические решения по получению многофункциональных слоистых структур, включающих пленки БР с повышенными чувствительностью и стабильностью, планарные полимерные волноводы с заданными модовым составом и встроенными дифракционными решетками; стенды для исследования многофункциональных слоистых структур и макетных элементов с голографическими свойствами для устройств обработки информации.

Подобные работы
Середин Лев Михайлович
Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента
Письменский Максим Васильевич
Технология получения тонкопленочных структур для оптоэлектроники на основе опытной установки ионно-лучевого осаждения
Громов Вячеслав Сергеевич
Основы создания и применения полупроводниковых элементов и микроэлектронных устройств интегральной теплоэлектроники
Белянин Алексей Федорович
Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике
Гурьянов Андрей Валерьевич
Формирование упорядоченных упаковок наносфер SiO_2 и применение структур на их основе в функциональной электронике
Алтухов Андрей Александрович
Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
Муратов Дмитрий Геннадьевич
Разработка основ технологии получения углеродного нанокристаллического материала и металлоуглеродных нанокомпозитов на основе полиакрилонитрила и солей металлов : Cu, Fe, Co
Гришко Анна Сергеевна
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы
Стратейчук Диана Михайловна
Разработка технологических приемов получения фоточувствительных пленок на основе твердых растворов CdS1-xSex методом трафаретной печати
Александров Дмитрий Викторович
Защитные тонкопленочные покрытия на основе нитридов элементов III и IV групп периодической системы (Получение, свойства и применение)

© Научная электронная библиотека «Веда», 2003-2013.
info@lib.ua-ru.net